原子は電子軌道に対応して離散的なエネルギー準位をもっています。原子にエネルギー（熱、光）を加えると、原子はエネルギーを吸収し、より高順位の状態に励起します。この励起した原子が基底状態に戻るときに エネルギーを光として発します。これは炎色反応として知られています。この光の波長は原子に固有であり、その強度は濃度に比例することから、定性・定量分析することが可能です。ＩＣＰ発光分析装置は、アルゴンガスに高周波電力を加えることでアルゴンガスをプラズマ化し、その数千〜一万Ｋもの高温を励起源として用います。ＩＣＰは励起源の温度が高く大きな強度を得ることができ、同時に多元素を測定できることが特徴です。


上は実際の装置内部のアルゴンプラズマの様子です。フィルターを通しているため緑白色の炎が見えますが、実際は青みがかった炎です。この炎と平行に霧状にした試料を通過させます。検出器がそれぞれ左側と下側にあります。